真空乾燥器・真空乾燥装置・真空ベーキング装置
当社の真空乾燥器・真空乾燥装置・真空ベーキング装置は、チャンバーサイズ・真空度・加熱温度・操作方式など、各々に特長をもった多種多様なシリーズをラインアップしており、お客様のニーズ(目的、用途、使用環境など)に合った最適の装置を選択いただけます。
DQ<Noa>![]() |
DY<Wing>![]() |
DH<Fairy>![]() |
シリーズ | 槽内寸法 mm |
最高温度範囲 ℃ |
加熱方式 | 槽内到達圧力*1 Pa |
真空排気系 | 操作方式 | |
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DQ*2 | S | 300□~1000□ | 200 | 外部加熱 | ×101 | ― | 手動 |
P | 油回転真空ポンプ | ||||||
DY | P | 400□~2000□ | 300~650 | 内部加熱 | ×101 | 油回転真空ポンプ | 自動 |
MP | ×100 | 油回転真空ポンプ メカニカルブースタ |
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DH | DP | 400□~1500□ | 300~650 | 内部加熱 | ×10-3 | 油回転真空ポンプ 油拡散ポンプ |
自動 |
TP | ×10-4 | 油回転真空ポンプ ターボ分子ポンプ |
*2:DQシリーズでは最高温度350~650℃(内部加熱式)の自動操作仕様も製作可能です。
システム構成例

① 炉内・ワーク温度(分布)測定ユニット : 熱電対、ハーメチックポート、ハーメチックシール、記録計
② 急速冷却ユニット : 熱交換器、ファン、モーター、水冷配管
③ パッキン保護水冷ユニット(300~650°C仕様) : 扉パッキン部、ヒーター・熱電対導入口パッキン部