真空広域恒温装置（スペースチャンバー）
■本装置は、主に宇宙開発材料及びコンポーネント等の寿命試験等の実験を目的として開発されたスペースチャンバーです。広領域にわたる安定した圧力、また、すぐれた恒温性を発揮します。PHIL の超高真空技術、低温技術の集積です。
主仕様
| 使用温度範囲 | -65℃～+150℃ |
|---|---|
| 到達圧力 | ×10-4 Pa |
| 排気系（全自動式） | a.ロータリーポンプ USW-650N |
| b.ターボ分子ポンプ TH-1500 | |
| c.各種ニューマチックバルブ | |
| 冷却装置 | 二元冷凍冷却システム |
| 加熱装置 | 高真空マイクロヒーター加熱システム |
| チャンバー内寸法 | φ700×L800mm (SUS 304) |
| 供試体収容空間 | φ300×L400mm |
