DQ<Noa>シリーズ
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研究開発、生産プロセスなど幅広い用途に対応する万能タイプです。豊富なラインアップから目的、用途に合った機種を選択いただけます。
DQ-P/DQ-S
DQ-P(ポンプ組込タイプ)
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DQ-S(卓上タイプ)
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省スペースのポンプ組込み一体型、停電時 のオイルバック防止など保護対策も充実。 |
設置場所に合わせた真空ポンプとのつなぎ 方が可能、スペースを有効利用できます。 |
特長
■高真空…到達圧力:×101Pa 油回転真空ポンプ単独の排気系としては高い真空度が得られます。漏れの極めて少ない真空室でのクリーンな加熱処理を提供します。
■効率的な排気
真空ポンプの吸気口径に合わせバルブ・配管口径などを設定、効率的な排気により排気時間を短縮しています。
■真空度の測定が可能
ピラニ真空計のセンサーをセットできるゲージポート(φ15 用) がついていますので、ブルドン管式真空計では読み取れない真空度(Pa値) を確認できる構造としています。
■温度制御が簡単
処理温度に合ったPID値を調節計が自動的に設定しますので、真空槽内の温度制御が簡単、確実におこなえます。
■安全性・保守
1. 温度調節計と過熱防止器の独立した二重過熱防止機能、自己診断機能など安全対策を充実させています。
2. 見やすい観察窓には樹脂製の保護カバーを取り付け、安全性を向上させております。(200℃以上の高温タイプには窓はつきません)
3. DQ-P( ポンプ組込みタイプ)…手動弁のほかに、主電磁弁・ポンプリーク電磁弁が組込まれており、装置稼働中の停電時などに、主電磁弁を閉め真空槽側を遮断すると共に、ポンプリーク弁を開けてポンプオイルの逆流を防ぎます。
■DQシリーズは、Max200℃ ( 外熱式) を規格としていますが、Max350℃・450℃・600℃の高温タイプ(内熱式)もあります。ヒーターを槽内各棚段下または槽内壁面に取付け、真空中での高温加熱をおこなうとともに、処理温度までの昇温時間が短縮され、槽内温度分布も向上します。さらに、一連の操作を自動化したタイプなどお客様のご要求に合わせた設計製作にも対応しています。
用途
主として、各種電池・電極、半導体部品、電気・電子部品、電子材料、金属、セラミック、新素材、食品、医薬品等の真空乾燥処理に広く用いられています。また、各種真空実験用にも最適です。
仕様
DQシリーズ型式 (最高温度200℃)
型式 | 槽内寸法 (W×D×Hmm) | 棚段数 | 真空ポンプ | 外形寸法(W×D×Hmm) | 電力 | |
---|---|---|---|---|---|---|
DQ-30 | S | 300×300×300 | 4 | なし | 500×500×800 | AC100V1φ0.8kW |
P | USW-50N | 500×500×1250 | AC100V1φ1.8kW | |||
DQ-40 | S | 400×400×400 | 4 | なし | 600×600×900 | AC200V1φ2kW |
P | USW-150N | 600×600×1400 | AC200V3φ2.8kW | |||
DQ-50 | S | 500×500×500 | 4 | なし | 700×700×1000 | AC200V1φ5kW |
P | USW-300N | 700×700×1480 | AC200V3φ5.8kW | |||
DQ-60 | S | 600×600×600 | 5 | なし | 800×800×1250 | AC200V1φ6kW |
P | USW-500N | 800×800×1650 | AC200V3φ6.8kW | |||
DQ-80 | S | 800×800×800 | 5 | なし | 1350×1050×1150 | AC200V1φ8kW |
P | USW-650N | 1600×1050×1600 | AC200V3φ8kW | |||
DQ-100 | S | 1000×1000×1000 | 5 | なし | 1600×1300×1400 | AC200V1φ10kW |
P | DW-1500 | 1800×1300×1850 | AC200V3φ12kW |
DQシリーズ仕様
性 能 | 最高温度 | 200℃ (350℃/450℃/600℃) | |||||||
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到達圧力 | ×101Pa(ベークアウト後無負荷常温時) | ||||||||
機 能 | 操作方式 | 手動 | |||||||
制御方式 | マイクロコンピュータによるPID制御(オートチューニング機能付) | ||||||||
設定方式/表示方式 | デジタル設定/デジタル表示 | ||||||||
センサー | K熱電対 | ||||||||
過昇温防止 | 独立二重防止回路 | ||||||||
排 気 系 | DQ-P/S共通 | 手動主弁、リーク・ガス導入弁、ブルドン管式真空計、φ15ゲージポート、リーク・ガス導入口、真空配管 | |||||||
DQ-Pタイプ | ベルト駆動型油回転真空ポンプ(50~1500L/min) 、主電磁弁、ポンプリーク電磁弁 | ||||||||
DQ-Sタイプ | ポンプ接続口 | ||||||||
加 熱 | ヒーター | スペースヒーター(真空槽外面に密着取付け) | |||||||
負荷コントロール | 電流出力 | ||||||||
安全装置 | 漏電ブレーカー、ヒーター回路・制御回路ヒューズ、二重過熱防止 (加熱停止、ブザー・ランプ警報、手動リセット) 自己診断機能(設定値、温度センサー、バーンアウト) |
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規 格 | 電 源 | AC100V 単相、AC200V 単相 又はAC200V 三相 | |||||||
冷 却 水 | 0.2MPa以上(加熱温度が200℃を越える場合) | ||||||||
N2 | 真空槽を大気圧に戻す場合、必要により | ||||||||
オプション | ピラニ真空計、オイルクリーナーWSシリーズ、コールドトラップ、ハーメチックシール、 内熱ヒーター個別温調、プログラム温調、操作方式:自動 |
オプション
(DQシリーズ共通)
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真空計 | オイルミストトラップ | オイルクリーナー <LM/WS> |
ハーメチックシール |
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真空コールドトラップ1 | 真空コールドトラップ2 |
(DQ-Sタイプ用)
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ベルト駆動型油回転真空ポンプ | 真空ゴムホース | 自動リーク弁 | 真空保持型自動リーク弁 VKL-25 |