真空バルブ｜真空部品／コンポーネント

真空バルブ

クランプ型真空弁<ATV/ATNV>
フランジ型真空弁<FAV/NAV>
真空保持型自動リーク弁<VKL-25>
真空電磁弁<NEV>
特殊自動リーク弁<LCLV>
簡易型ストップバルブ<BV>

クランプ型真空弁<ATV/ATNV>シリーズ(SUS304)

ISO 規格の真空フランジを採用したベローズ式真空バルブです。クランプとセンターリングにより脱着は簡単、確実です。また、バルブボディー及び内部部品にはステンレス材を使用し耐食性に優れています。開閉方式として、手動式と、圧縮空気による自動式の2機種を用意しています。用途に合わせて選択してください。

ATV 手動式

型式	Ａ	B	C	L	D	E	F	OD
ATV-16	54	41	139	158	60	43	57	30
ATV-25	52	38	132	152	60	43	57	40
ATV-40	60	61	165	197	60	54	76	55
ATV-50	85	78	203	249	60	63	88.5	75

ATNV　空圧作動式

型式	Ａ	B	C	L	D	E	F	OD
ATNV-16	54	55	157	13	32	42.5	57	30
ATNV-25	53	50	151	13	32	42.5	57	40
ATNV-40	63	68	196	16	41	54	76	55
ATNV-50	86	89	261	20	54	63	88.5	75

*作動圧力: 0.5MPa

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フランジ型真空弁<FAV/NAV>シリーズ

JIS B2290 規格の真空フランジを採用し、バルブ本体はステンレス製です(一部軟鋼製もあります)。
手動開閉式と、圧縮空気による自動開閉式の2機種を用意しておりますので、用途により選択してください。

FAV 手動式

型式	A	φB	φC	D	E	φF	質量(kg)
FAV-3/4SA	50	60	80	150	169	80	1.2
FAV-1SA	55	70	90	170	198	80	1.6
FAV-2SA	75	100	120	220	262	80	3.3
FAV-3SA	95	135	160	271	329	140	8.1
FAV-4SA	110	160	185	306	381	140	11
FAV-6SA	130	210	235	395	504	200	21
FAV-8SA	175	270	300	490	635	250	36

*ハンドルのツマミはFAV-3SA以上からの装備です。

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NAV 空圧作動式

型式	A	φB	φC	D	E	空気圧導入口	質量(kg)
NAV-1SA	55	70	90	108	195	Rc-1/8	1.6
NAV-2SA	75	100	120	145	258	Rc-1/4	3.6
NAV-3SA	95	135	160	187	318	Rc-1/4	9.3
NAV-4SA	110	160	185	220	382	Rc-3/8	14.5
NAV-6SA	130	210	235	270	489	Rc-3/8	28.5
NAV-8SA	175	270	300	355	639	Rc-3/8	45
NAV-10SA	200	320	350	400	710	Rc-3/8	62

*Rc…PTテーパーメネジ

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真空電磁弁

特長(1)この真空電磁弁は微少リーク弁、真空継手部品類、パルミル真空計と組合せることにより、簡易真空一定システムとして使用できます。(2) ボディーはステンレス製で耐食性に優れています。(3) クランプ継手を組合せれば容易かつ自在に真空配管を組むことができます。内径15Aによりコンダクタンスを大きくし、排気スピードも損ないません。逆真空も可能です。

型　　式	NEV-25NW-1	NEV-25NW-2
電　　源	AC100V±10%	AC200V±10%
電　　源	1φ 35W 50/60Hz
頻　　度	10回/min以下
配管継手	NW25 フランジ
コンダクタンス量	10L/sec CV値4.3 Orifice15mm
接ガス部材質	SUS304/SUS316/Viton
動　　作	通電時/弁座開
取付姿勢	コイル部が上
開閉時間	1sec
面間ピッチ	132mm (NW25時)
寸　　法	W132×D90×H145mm
質　　量	2.5kg