油拡散ポンプ<SDP>シリーズ

油拡散ポンプ SDP シリーズ

特長


高真空度が必要とされる場合に採用される真空ポンプで、10-5Paが安価に得られます。熱せられた拡散オイルがノズルから噴射されることにより発生する超音速のジェット噴流によって、高真空域まで排気します。単独運転はできず、油回転真空ポンプをバックポンプとして、組合せて使用します。なお、組合せて排気セットとした製品は真空装置内の高真空排気装置をご参照ください。

仕様表


型  式 排気速度 到達圧力*2 油逆流量 油量 電源 電力 始動時間 所要水量 臨界背圧 質量
(1.3×10-3Pa時)
L/sec Pa mg/cm2min mL V/φ W min L/min Pa kg
バッフル無/有 バッフル無/水冷バッフル付
SDP-2 125/58 ×10-5 ×10-2/×10-4 50 100/1 0.33 15 0.5 20 4
SDP-2A*1 58 7.5×10-4 4.7
SDP-3 280/150 ×10-2/×10-4 100 100/1 0.5 20 1.0 6
SDP-3A*1 150 7.5×10-4 7.5
SDP-4 380/215 ×10-2/×10-4 150 100/1 0.7 20 1.5 8
SDP-4A*1 215 7.5×10-4 10
SDP-6 810/465 ×10-2/×10-4 340 200/1 1.0 20 3.0 15 20
SDP-8 1450/790 ×10-2/×10-4 500 200/1 1.4 25 4.0 30
SDP-10 2070/1200 ×10-2/×10-4 820 200/1 1.9 25 5.0 41
SDP-14 3600/2350 ×10-2/×10-4 1600 200/3 4.5 30 7.0 120
*1 SDP-2A,SDP-3A,SDP-4Aは空冷式です。
*2 使用作動油: ライオンS