高真空排気装置<TPS/DPS>シリーズ

■本システムには、ターボ分子ポンプと油拡散ポンプの2 タイプがあり、さらに補助ポンプとして油回転及びドライポンプを用意し、お客様のニーズに合わせた選択を可能とした高真空排気システムです。

ターボ分子ポンプ排気システム
<TPS>タイプ
ターボ分子ポンプ排気システム<TPS>シリーズ
 
油拡散ポンプ排気システム
<DPS>タイプ
油拡散ポンプ排気システム<DPS>シリーズ

特長


■高真空での各種実験・開発・生産プロセスに対応。

■空冷式により水配管不要、保守の負担を軽減。

■場所を選ばない100V 電源。

■メインフレーム・ベースにアルミを採用、軽量化を実現。

■使いやすさを追求したコンパクト設計。

ターボ分子ポンプ排気システム<TPS>タイプ


MZまたはスクロール型ドライ補助ポンプと組合せてフルドライの排気系に。

起動・停止に要する時間が短い。

不意の大気導入にも強い構造のターボ分子ポンプを採用。

(注)故意に大気導入を繰返しますと故障の原因となります。

油拡散ポンプ排気システム<DPS>タイプ


より低コストで高真空雰囲気を得られます。

三方弁の切替機能により、補助ポンプのみの単独排気運転も可能。

保守点検が容易。

<TPS>タイプ

型  式 TPS-50ZA TPS-50ZB TPS-50ZC TPS-220ZA TPA-220ZB TPS-220ZC
ターボ分子ポンプ 50L/s 220L/s
補助ポンプ DW-60 USW-50N MZ-2CNT DW-120 USW-100N ISP-250C
到達圧力 ×10-5Pa Order*1 ×10-3Pa Order*1 ×10-5Pa Order*1 ×10-4Pa Order*1
起動/停止時間 3/3min*2 2.2/3.5min*2
吸気口径 VG-65 VG-100
所要電力(AC) 100V 15A
質量 約51kg 約55kg 約45kg 約56kg 約59kg 約70kg
外形寸法
(W×D×Hmm)
600×400×700 600×400×750 600×400×700 600×400×730 600×400×800 600×400×850

<DPS>タイプ

型  式 DPS-2-ZA DPS-2-ZB DPS-3-ZA DPS-3-ZB DPS-4-ZA DPS-4-ZB
油拡散ポンプ 70L/s 150L/s 250L/s
補助ポンプ DW-60 USW-50N DW-120 USW-100N DW-120 USW-150N
到達圧力 ×10-4Pa Order*3
起動時間 17min*2 22min*2
吸気口径 VF-50 VF-80 VF-100
所要電力(AC) 100V 15A 100V 15A×2*4
質量 約57kg 約60kg 約68kg 約70kg 約70kg 約80kg
外形寸法
(W×D×Hmm)
600×400×935 600×400×995 600×400×1095 600×400×1030 600×400×1130
* 1. ターボ分子ポンプをベーキング・ガス出し後、ポンプヘッドでの値です。
* 2. 起動時間は吸気口閉め切りでの値です。チャンバー容量により時間が異なります。
* 3. 吸気口閉め切りでの値です。
* 4. 補助ポンプとメインポンプ用として、別々の電源プラグ(2 本)があります。
*お客様の使い勝手・仕様に合わせて、各種オプション部品を組込みセットアップする特注バージョンも製作いたします。