DH<Fairy>シリーズ

■高真空・高温対応 全自動式真空乾燥・真空ベーキング装置
油拡散ポンプ排気系(×10-3Pa)…DH-DPタイプ真空乾燥器
ターボ分子ポンプ排気系(×10-4Pa)…DH-TPタイプ真空乾燥器

生産機として設計された自動式真空乾燥・真空ベーキング装置です。生産ライン用として求められる信頼性、安全性、操作性を追及するとともに、Max 650℃までの高温処理を可能とした真空乾燥装置です。
本シリーズの2タイプは、油拡散ポンプとターボ分子ポンプという、到達圧力だけでなく方式も異なる真空ポンプをメインとしておりますので、クリーン度を要求されるケースなど、目的・用途に合ったタイプからご選択ください。

DH-DP/DH-TP


DH-DPタイプ
DH-DP
DH-TPタイプ
DH-TP

特長


■DH-DP タイプ
排気系が、油回転真空ポンプと油拡散ポンプで構成され、到達圧力は×10-3Pa となり、TP タイプと比べ安価に高真空雰囲気が得られます。

■DH-TP タイプ
排気系が、油回転真空ポンプもしくはドライポンプとターボ分子ポンプで構成され、到達圧力は×10-4Paとなり、当社真空ベーキングシリーズでは最も高い真空度の、最もクリーンな加熱環境を提供します。

■加熱機構
真空中で高温を得るために、各棚板下に取り付けたシースマイクロヒーターを加熱源とする内部加熱方式です。ワークにより、槽内各壁面にヒーターを設置する方式も可能です。いずれも外部加熱方式に比べ、設定温度までの昇温時間が短縮され、槽内温度分布も向上します。

■加熱制御
槽内に設置された各ヒーターごとに温調計を設け個別にPID制御しますので、温度制御が正確、確実におこなわれます。また、プログラム温調計により昇温パターンを設定することも可能です。

■操作性
スタートボタンON で、シーケンサプログラムにより真空排気、昇温、バルブ開閉など各機能を自動で運転しますので、どなたでも簡単に操作できます。グラフィックパネル上に機器系統、作動機器のON/OFFが表示され、運転状況も容易に確認できます。個別運転時でも各インターロック機能により操作ミスを防ぎます。

■安全性
自動運転時に装置異常を検出した場合、異常内容( 冷却水量低下、エア圧力低下、過昇温etc.)により、運転全停止または一部機能停止をおこない、異常内容をグラフィックパネル上でランプ表示します。さらに、停電時には主弁を閉じ真空加熱槽の圧力をキープする(大気リークによるワークの酸化防止)とともに、ポンプリーク弁を開けポンプオイルの逆流を防止するなど、あらゆる角度からの保護機能が組み込まれています。

■強制冷却機能( オプション) により処理時間を大幅に短縮
真空は断熱性に優れているため一旦温度を上げるとなかなか下がりません。加熱処理終了でヒーターOFFとなっても、通常50℃前後のワーク取出し温度までの降温に多くの時間を要します。オプションの強制冷却機構を組み込めば、この降温時間は大幅に短縮されますので、結果としてトータルの処理時間が大幅に短縮されます。

用途


生産ラインでの各種電池・電極、半導体部品、精密・電子機器部品、電子材料、金属、セラミック、レーザー機器部品、プラズマ電極部品等の真空ベーキング処理に広く用いられています。

仕様


DHシリーズ型式
型式 槽内寸法(W×D×Hmm) 棚段/ヒーター段 温調計(各段温調) 排気系
DH-40 DP 400×400×400 3段/4段 4 RP500L/min+DP6B
TP RP500L/min+TMP300
DH-50 DP 500×500×500 4段/5段 5 RP500L/min+DP6B
TP RP500L/min+TMP520
DH-60 DP 600×600×600 4段/5段 5 RP650L/min+DP6B
TP RP650L/min+TMP520
DH-70 DP 700×700×700 4段/5段 5 RP1500L/min+DP10B
TP RP960L/min+TMP900
DH-80 DP 800×800×800 5段/6段 6 RP1500L/min+DP14B
TP RP1500L/min+TMP1300
DH-100 DP 1000×1000×1000 5段/6段 6 RP1500L/min+DP14B
TP RP1500L/min+TMP2000
DH-150 DP 1500×1500×1500 5段/6段 6 RP3000L/min+DP22B
TP RP3000L/min+TMP3400
* 本型式表の仕様は基本的な項目のみです。お引合い内容に基づき詳細仕様お打合せ後お見積もりとなります。

DHシリーズ仕様
型  式 DH-DP 排気系:油回転真空ポンプ+油拡散ポンプ
DH-TP 排気系:油回転真空ポンプ+ターボ分子ポンプ
方  式 加  熱 内部加熱方式(棚板または内面)
冷  却 真空放冷、N2強制循環冷却(オプション)
性  能 最高温度範囲 300℃~650℃
到達圧力 DH-DP:×10-3Paオーダー(ベークアウト後無負荷常温時)
DH-TP:×10-4Paオーダー(ベークアウト後無負荷常温時)
構  成 内装/外装 ステンレス鋼:研磨(SUS304)/圧延鋼鈑:塗装
扉/シール材 片開き: クランプ締結/バイトンOリング
断熱材 アルミナ・シリカブランケット/フランジ・扉Oリング部:水冷管付
加熱方式 内部ヒーターパネル加熱(棚板兼用または内面、シースヒーター付)
温度制御方式 プログラム温調計または定置温調計:PID制御
真空排気系*1 油回転真空ポンプ+油拡散ポンプ:DH-DP
油回転真空ポンプ+ターボ分子ポンプ:DH-TP
真空計 B-Aゲージ電離真空計、ピラニ真空計、デジタル連成計
制御盤*2 架台組込型または自立型
操  作 運  転 自動/手動:切替スイッチで選択
表  示 運転状態 グラフィックパネルに機器系統、作動機器ON/OFF表示
温  度 LEDデジタル表示
温度パターン プログラム温調計:30パターン、300セグメント
機  能 真空排気 シーケンサプログラムによる自動運転
昇温/冷却*3 定置運転:設定温度で自動運転/タイマー設定で冷却スタート
プログラム運転:入力パターンにより昇温/冷却
安全装置:インターロック 真空排気異常、過熱防止、モーター過負荷、冷却水量低下、作動エア圧力低下、漏電ブレーカー
規  格 電  源 三相 200V 50/60Hz
冷却水 装置入口: 0.2MPa以上 30~60L/min
エ  ア 装置入口: 0.5MPa以上 
オプション オイルクリーナーWSシリーズ、コールドトラップ
*1. 高真空排気はクライオポンプでも可能です。
*2. 制御盤:内容積1m3 以下は架台組込型、1.2m3 以上は自立型。
*3. 定置温度制御:設定温度キープ時間は外部タイマー( 操作パネル面) で指定、タイマーアップで冷却工程スタート。
*  その他各種仕様に合わせ製作いたします。