自動リーク弁

自動リーク弁(油逆流防止弁) 


自動リーク弁(油逆流防止弁)

真空ポンプが停止すると排気側は大気圧となります。ところが吸気側は減圧状態のままですので、この差圧により油回転真空ポンプ内部の油が排気口から押されて、吸気口、吸気配管、最終的には真空チャンバーまで逆流してしまいます。この逆流を防ぐためには、ポンプ停止と同時に吸気側をリークさせ、排気側と同圧( 大気圧)とする必要があります。自動リーク弁はポンプの吸気口側に取付けられ、ポンプ( モーター) 停止と同時に開き、吸気側を自動的に大気圧に戻しますので、手動操作の手間を省き、うっかりミスを未然に防止、不意の停電時にも安心です。ポンプご注文時に「自動リーク弁付」とご指定ください。

自動リーク弁取付アダプター


自動リーク弁取付アダプター

後から自動リーク弁を真空ポンプに取付ける場合に、ポンプの標準吸気口に差し込んで使えるアダプターでホース口付きです。吸気口径 φ16用、23用、30用の3種類を用意しており、付属ホース口などは以下の寸法となっております。

ポンプ吸気口径 L1 L2 D d A
16mm (90) 54 32 16 Rp(PS)3/8
23mm (130) 60 38 21 Rp(PS)1/2
30mm (130) 62 42 27 Rp(PS)3/4

油面計(ガラス製)


油面計(ガラス製)

有機溶剤等、標準材質のアクリルを腐食させるガスを、真空ポンプ内に吸引する場合に使われます。バイトンパッキン、押え金具とセットになっております。

吸気口変換アダプタ


油回転真空ポンプの吸気口( ホース口形状)を、規格より細い口径とする必要がある場合に使われるアダプタです。相手側の口径が細く、ポンプ側をそれに合せる必要がある場合、細い真空ホースしかない場合などにご利用ください。

吸気口変換アダプタ 吸気口変換アダプタ
型 式 A B C D E L
VC-1609 8 10 15 36 28 90
VC-1612 12 14 15 36 30 92
VC-2309 8 10 18 42 28 90
VC-2312 12 14 18 42 30 92
VC-2316 14 16 18 42 33 95
VC-3009 8 10 25 50 28 90
VC-3012 12 14 25 50 30 92
VC-3016 14 16 25 50 33 95
VC-3022 20 22 25 50 33 95
変換アダプタ型式
(変換口径mm)
VC-1609(φ9) VC-2309(φ9) VC-3009(φ9)
VC-1612(φ12) VC-2312(φ12) VC-3012(φ12)
  VC-2316(φ16) VC-3016(φ16)
    VC-3022(φ22)
適合真空ポンプ DW-60 DW-120,185Ⅱ DW-360
USW-20,50N TSW-20,50N USW-100N,150N USW-300N,500N,650N
BSW-20,50N UST-20,50 TSW-100N,150N TSW-300N,500N,650N
TST-20,50 BST-20,50 BSW-100N,150N UST-300,500N
PSW-20,50N PST-20,50 UST-100,150N TST-300,500N
  TST-100,150N  
  BST-100,150N  
真空ポンプ吸気口径 φ16 φ23 φ30

真空ゴムホース


真空ゴムホース

真空配管に使用してもつぶれない肉厚の真空用ホースです。固定配管に比べ、手軽に真空ポンプと容器をつなぐことができます。長さは1mです。(2m以上は特注となります)

ホース寸法(mm) 適合ホース口(mm)
内径φ6×外径φ15 φ7~9
内径φ9×外径φ24 φ10~12
内径φ12×外径φ30 φ13.5~16
内径φ18×外径φ42 φ21~23
内径φ25×外径φ50 φ27~34

真空ポンプ油“ ニュークリアバック SA-160M, SA-100M”


真空ポンプ油“ ニュークリアバック SA-160M”

高度に精製された鉱物油を精密分留した、高品質な油回転真空ポンプ専用オイルです。低蒸気圧で抗乳化性・水分離性に優れています。

型式 容量 粘度グレード 油種
SA-160M 1L,2L,18L ISO VG 68 鉱物油
SA-100M ISO VG 46

 

エアフィルター(吸気用)


エアフィルター(吸気用)

真空ポンプ内に粉塵などが入るのを防ぐためのフィルターです。

型式 流量 接続口径
Rc(PT)
F-50 50
3/8”
F-150 150 1/2”
F-500 500 3/4”

真空インレットフィルター<PSAF>シリーズ


真空インレットフィルター

低真空 (100Pa 以上 ) 用エアフィルターです。油回転真空ポンプの吸気口に取付け、真空排気ラインで発生する粒子、ダスト、コンタミを捕集しポンプを保護します。ポリエステル製 5 μmのエレメントにより粉塵などを 99%以上キャッチ、L 型ですので真空配管を外さずにエレメント交換が可能、工具も不要です。

型式 接続口径 寸法(mm) エレメント 適合排気速度
φA B C D
PSAF-150-1/2 Rp1/2
95 57 90 49 PETE-150 150L/min
PSAF-500-3/4 Rp3/4 146 78 104 63 PETE-500 500L/min
PSAF-1000-1・1/2 Rp1・1/2 187 106 171 115 PETE-1000 1000L/min
PSAF-1500-2 Rp2 195 117 255 128 PETE-1500 1500L/min

ダストフィルター<VSRC>シリーズ


ダストフィルター VSRCシリーズ

真空ポンプ保護用のフィルターです。ポンプ内に入り込む粒子、ゴミ、ミスト等を捕捉、低減させます。ステンレス製のエレメントの採用により腐食に強く、100 μm以上のダストを捕捉します。

型式 エレメント 寸法(mm) 最大流量(L/min) 接続口
VSRC-250-15MM-S VSR-250-S φ63.5×面間162.0 100 φ15パイプ
VSRC-300-QF25-S VSR-300-S φ76.2×面間175.3 150 NW25
VSRC-400-QF25-S VSR-400-S φ101.6×面間177.8 300 NW25
VSRC-600-QF25-S VSR-600-S
φ152.4×面間238.8 800 NW25

フォアライントラップ<VSMI-450-QF25-120>


フォアライントラップ VSMI

高真空中でチャンバー内への油の逆拡散を防止するためのトラップです。モレキュラシーブ 13X(合成ゼオライト)を採用、多数の分子サイズの空孔が大量の水蒸気、油蒸気を吸着します。さらに内蔵ヒーターによりエレメントの加熱再生が可能です。

型式 エレメント 寸法(mm) 最大流量(L/min) 接続口
VSMI-450-QF25-120 モレキュラシーブ13X
φ114.3×H133.4×面間177.8 650 NW25

液体窒素コールドトラップ<CT-LN2>シリーズ


液体窒素コールドトラップ

真空排気ラインで発生するポンプからの油の逆拡散を防止し、超高真空ラインにおいては、水分等の吸着により到達圧力の向上に効果を発揮します。油拡散ポンプ排気装置、真空蒸着装置などに数多く採用されています。

型式 接続 寸法(mm) LN2容量
装置側 ポンプ側
CT-N25F25L-LN2 NW25 VF25 φ160×H208 500cc
CT-N25F50L-LN2 NW25 VF50
CT-N25N40L-LN2 NW25 NW40
CT-N40F25L-LN2 NW40 VF25
CT-N40F50L-LN2 NW40 VF50
CT-N40N40L-LN2 NW40 NW40

真空トラップ TPシリーズ


真空トラップ TPシリーズ

真空ポンプ内に粉塵等が入り込むのを防止するためのトラップです。また、真空リザーブトラップとしても使用できます。

型 式 材 質 接 続 内容量(L) 油量(L) 寸法(mm) 質量(kg)
φ h
TP-200ZA SS400 VG25 7.8 1.7 165.2 727 13
TP-400ZA SS400 VG40 14.2 2.7 216 830 27
TP-800ZA SS400 VG50 24 5 256 978 32
TP-1500ZA SS400 50 11 300 1278 55
TP-2000ZA SS400 VG80 68
TP-4000ZA SS400 VG100 102 17 381 1497 90

*SUS304製もございます。(末尾ZB)

ブルドン管真空計


ブルドン管真空計

目安として真空度を確認したい場合に使われる簡易型真空計です。加圧用の圧力計の規準を応用していますので、大気圧を0と設定しており、減圧側はマイナス表示となっています。